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1800℃ 튜브전기로 패키지(Tube Furnace Package)
1800℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-S4 (300mm Ø120)
1800℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-S3 (300mm Ø100)
1800℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-S2 (300mm Ø80)
1800℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-S1 (300mm Ø50)