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1500℃ 튜브전기로 패키지(Tube Furnace Package)
1500℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-H4 (300mm Ø120)
1500℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-H3 (300mm Ø100)
1500℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-H2 (300mm Ø80)
1500℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-H1 (300mm Ø50)