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1200℃ 튜브전기로 패키지(Tube Furnace Package)
1200℃ 3존 튜브전기로 패키지(CVD, annealing)FU-PK-G4-3(200mm x 3 Hot Zone Ø120)
1200℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-G4-L (600mm Ø120)
1200℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-G4-S (300mm Ø120)
1200℃ 3존 튜브전기로 패키지(CVD, annealing)FU-PK-G3-3(200mm x 3 Hot Zone Ø100)
1200℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-G3-L (600mm Ø100)
1200℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-G3-S (300mm Ø100)
1200℃ 3존 튜브전기로 패키지(CVD, annealing)FU-PK-G2-3(200mm x 3 Hot Zone Ø80)
1200℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-G2-L (600mm Ø80)
1200℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-G2-S (300mm Ø80)
1200℃ 3존 튜브전기로 패키지(CVD, annealing)FU-PK-G1-3(200mm x 3 Hot Zone Ø50)
1200℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-G1-L (600mm Ø50)
1200℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-G1-S (300mm Ø50)